一、泵类：湿法设备的核心动力源 气动隔膜泵 适用场景：输送腐蚀性液体（如酸、碱、有机溶剂）、带颗粒液体、高黏度流体。 优势： 自吸功能，可空转运行，无机械密封，减少颗粒污染风险。 接地后不产生火花，适用于易燃易爆环境。 通过调整进气压力和流量可调节输出压力。 局限：液体脉动较大，膜片寿命较短（需频繁更换）。 材质选择： 泵体：不锈钢（适用于有机溶液、低浓度弱碱、水等）、PP（低温酸碱液、部分有机溶液）、PVDF（高温强酸溶液）。 膜片：PTFE（耐腐蚀性***，适用于酸、碱液）、SP（解决HCL渗透性问题）。 气动风囊泵 适用场景：连续不间断运行，如药液恒温控制、循环过滤、废液回收。 优势： 输送液体脉动小，使用寿命长。 适用于高温环境（普通系列工作温度≤100℃，高温系列100℃-200℃）。 局限：成本较高，国内品牌较少（如美国White Knight、日本I-WAKI）。 磁力泵 适用场景：对颗粒要求高的清洗（如超纯水喷淋冲洗）。 局限：轴承滑动摩擦易产生颗粒，不适用于高颗粒环境。 材质选择：PP、PVDF、ETFE（***使用温度80℃，特殊型号可达100℃）。

二、过滤系统：保障药液纯净的关键 过滤器 核心作用：去除药液中的颗粒污染物，延长药液寿命。 滤芯材质：PTFE或Nylon（精度0.1µm或更低）。 管路与阀门 材质要求：与化学品兼容（如PFA管路、PTFE衬里阀门或全氟塑料阀门）。 设计要点：确保无泄漏、无死体积、无金属离子析出污染。

三、温控系统：***控制反应条件 热交换器 作用：***控制药液温度（如夹套加热/冷却）。 材质选择：哈氏合金、钛材或氟塑料（耐腐蚀）。 控温单元 组成：温度传感器（Pt100）、控制器（PLC/PID）、执行机构（调节阀、加热器功率调节器）。 精度要求：±0.5℃（确保刻蚀/清洗速率稳定）。

四、气体系统：促进混合与传质 气体鼓泡装置 作用：搅动药液，促进成分均匀混合，抑制酸雾挥发。 材质选择：石英或PVDF（耐腐蚀）。 喷淋系统 作用：***冲洗晶圆表面残留化学品和颗粒。 喷嘴材质：PVDF或PFA。

五、机械手与传输系统：实现自动化操作 机械手臂 要求：高精度、高重复性、高可靠性。 材质选择：不锈钢+特殊涂层、陶瓷部件或工程塑料（耐腐蚀）。 载具升降机构 作用：在槽内平稳升降载具，确保晶圆完全浸没或提出液面。

六、排风与废气处理系统：保障安全与环保 排风装置 作用：及时抽走工艺槽上方挥发的化学气体和酸雾。 废气处理设备 处理方式：湿式洗涤塔、干式吸附塔（中和、洗涤或吸附HF、HCl、H₂SO₄ mist、NH₃等有害气体）。

七、其他辅助耗材 超纯水供应系统 作用：为漂洗、化学品稀释、设备自清洗提供符合半导体级标准的超纯水。 化学品供应与分配系统 作用：安全、***地向工艺槽添加新鲜化学品或补充液。 泄漏监测系统 作用：在关键位置设置传感器，及时发现泄漏并报警。